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株式会社日立国際電気

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  2014年 出願公開件数ランキング    第168位 274件 下降2013年:第141位 352件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第174位 253件 下降2013年:第146位 280件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5567307 基板処理装置の異常検知システム、群管理装置、基板処理装置の異常検知方法及び基板処理システム。 2014年 8月 6日
特許 5566032 基板処理装置、半導体装置の製造方法および入力禁止プログラム 2014年 8月 6日
特許 5562409 半導体装置の製造方法及び基板製造方法及び基板処理装置 2014年 7月30日
特許 5564236 再送信システム 2014年 7月30日
特許 5562431 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム 2014年 7月30日
特許 5564311 半導体装置の製造方法、基板処理装置及び基板の製造方法 2014年 7月30日
特許 5562434 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム 2014年 7月30日
特許 5562188 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 2014年 7月30日
特許 5555270 半導体装置の製造方法および基板処理装置 2014年 7月23日
特許 5557896 半導体装置の製造方法、基板処理方法および基板処理装置 2014年 7月23日
特許 5560009 動画像符号化装置 2014年 7月23日
特許 5559985 基板処理装置および半導体装置の製造方法 2014年 7月23日
特許 5559593 監視システム 2014年 7月23日
特許 5559005 伝送装置 2014年 7月23日
特許 5560093 基板処理装置及び半導体装置の製造方法及び基板製造方法 2014年 7月23日

253 件中 61-75 件を表示

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5567307 5566032 5562409 5564236 5562431 5564311 5562434 5562188 5555270 5557896 5560009 5559985 5559593 5559005 5560093

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