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株式会社日立国際電気

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  2012年 特許取得件数ランキング    第136位 287件 下降2011年:第95位 357件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5031960 基板処理装置および半導体装置の製造方法 2012年 9月26日
特許 5032766 基板処理装置及び基板処理装置のメンテナンス方法 2012年 9月26日
特許 5036849 半導体装置の製造方法、クリーニング方法および基板処理装置 2012年 9月26日
特許 5037279 監視装置 2012年 9月26日
特許 5032059 半導体装置の製造方法、基板処理方法、及び基板処理装置 2012年 9月26日
特許 5036172 基板処理装置、基板処理方法および半導体装置の製造方法 2012年 9月26日
特許 5036081 画像伝送システム 2012年 9月26日
特許 5032982 熱処理装置及び基板の製造方法 2012年 9月26日
特許 5033058 基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法 2012年 9月26日
特許 5032930 通信システム 2012年 9月26日
特許 5031611 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び天井断熱体 2012年 9月19日
特許 5029899 受信信号のレベル調整回路 2012年 9月19日
特許 5027430 基板処理装置 2012年 9月19日
特許 5027850 基板処理装置および半導体装置の製造方法 2012年 9月19日
特許 5028352 温度制御方法、温度補正値取得方法、半導体製造方法、基板処理装置 2012年 9月19日

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5031960 5032766 5036849 5037279 5032059 5036172 5036081 5032982 5033058 5032930 5031611 5029899 5027430 5027850 5028352

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