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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第118位 415件 (2012年:第180位 254件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第163位 256件 (2012年:第181位 217件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-258391 | 基板処理用の薬液生成方法、基板処理用の薬液生成ユニット、および基板処理システム | 2013年12月26日 | |
特開 2013-254286 | 欠陥画像の提示方法 | 2013年12月19日 | |
特開 2013-254678 | 電池用電極の製造方法および製造装置、ならびに電池の製造方法および製造装置 | 2013年12月19日 | |
特開 2013-251335 | 基板処理装置 | 2013年12月12日 | |
特開 2013-250101 | 基板検査装置および基板検査方法 | 2013年12月12日 | |
特開 2013-247125 | 熱処理装置および熱処理方法 | 2013年12月 9日 | |
特開 2013-247128 | 熱処理装置、およびその処理基板の形状不良の有無の判定方法 | 2013年12月 9日 | |
特開 2013-244560 | 把持機構の軌道生成装置、把持機構の軌道生成方法、把持機構の軌道生成プログラム、記録媒体、ロボットプログラム作成装置 | 2013年12月 9日 | |
特開 2013-240894 | 液滴吐出ヘッドの共振条件の検出方法、および検出装置 | 2013年12月 5日 | |
特開 2013-243301 | 射出装置および射出方法 | 2013年12月 5日 | |
特開 2013-243413 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2013年12月 5日 | |
特開 2013-233756 | パターン形成装置 | 2013年11月21日 | |
特開 2013-233755 | パターン形成装置およびパターン形成方法 | 2013年11月21日 | |
特開 2013-233757 | パターン転写装置およびパターン転写方法 | 2013年11月21日 | |
特開 2013-228725 | 照明装置 | 2013年11月 7日 |
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2013-258391 2013-254286 2013-254678 2013-251335 2013-250101 2013-247125 2013-247128 2013-244560 2013-240894 2013-243301 2013-243413 2013-233756 2013-233755 2013-233757 2013-228725
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