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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第142位 322件 (2013年:第118位 415件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第261位 154件 (2013年:第163位 256件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2014-105827 | 角度調整部材、変位および角度調整部材、回転駆動機構、流体吐出装置ならびにパターン形成装置 | 2014年 6月 9日 | |
特開 2014-107473 | 露光装置、露光方法 | 2014年 6月 9日 | |
特開 2014-106513 | 回折光学素子の劣化原因判別装置、パターン描画装置、回折光学素子の劣化原因判別方法 | 2014年 6月 9日 | |
特開 2014-107478 | 基板処理装置及びその洗浄方法 | 2014年 6月 9日 | |
特開 2014-106654 | コンピュータシステム、描画システム、および、切替方法 | 2014年 6月 9日 | |
特開 2014-107314 | 剥離補助方法および剥離補助装置 | 2014年 6月 9日 | |
特開 2014-100780 | 把持機構の軌道生成装置、把持機構の軌道生成方法、把持機構の軌道生成プログラム、記録媒体、ロボットプログラム作成装置 | 2014年 6月 5日 | |
特開 2014-103405 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2014年 6月 5日 | |
特開 2014-103416 | 基板処理装置 | 2014年 6月 5日 | |
特開 2014-92535 | 温度測定装置および熱処理装置 | 2014年 5月19日 | |
特開 2014-93449 | 基板処理装置 | 2014年 5月19日 | |
特開 2014-93362 | 基板処理装置 | 2014年 5月19日 | |
特開 2014-86577 | 基板処理装置、基板処理システム、基板処理装置の制御方法、プログラムおよび記録媒体 | 2014年 5月12日 | |
特開 2014-82471 | 処理液供給装置、基板処理装置、処理液供給方法および基板処理方法 | 2014年 5月 8日 | 共同出願 |
特開 2014-82472 | 処理液処理装置および処理液処理方法 | 2014年 5月 8日 | 共同出願 |
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2014-105827 2014-107473 2014-106513 2014-107478 2014-106654 2014-107314 2014-100780 2014-103405 2014-103416 2014-92535 2014-93449 2014-93362 2014-86577 2014-82471 2014-82472
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