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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第180位 254件 (2011年:第189位 230件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第181位 217件 (2011年:第194位 188件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2012-54373 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2012年 3月15日 | |
特開 2012-54257 | 基板処理装置の調整方法 | 2012年 3月15日 | |
特開 2012-47463 | 位置ずれ量検出方法および該位置ずれ量検出方法を用いた外観検査方法 | 2012年 3月 8日 | |
特開 2012-48219 | ステージ移動装置およびパターン描画装置 | 2012年 3月 8日 | |
特開 2012-41607 | 化学気相成長装置および化学気相成長方法 | 2012年 3月 1日 | 共同出願 |
特開 2012-44065 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2012年 3月 1日 | |
特開 2012-42703 | 光変調器、露光装置、光変調器の制御方法 | 2012年 3月 1日 | |
特開 2012-42648 | 空間光変調器および露光装置 | 2012年 3月 1日 | |
特開 2012-44213 | 基板処理装置 | 2012年 3月 1日 | |
特開 2012-42587 | 直接描画方法および直接描画装置 | 2012年 3月 1日 | |
特開 2012-44144 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2012年 3月 1日 | |
特開 2012-43876 | パターン形成方法、パターン形成装置、光電変換デバイスの製造方法および光電変換デバイス | 2012年 3月 1日 | |
特開 2012-43596 | 電池の製造方法、電池、車両および電子機器 | 2012年 3月 1日 | |
特開 2012-30320 | 作業システム、作業ロボット制御装置および作業プログラム | 2012年 2月16日 | |
特開 2012-26476 | ダイヤフラムバルブおよびこれを備えた基板処理装置 | 2012年 2月 9日 |
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2012-54373 2012-54257 2012-47463 2012-48219 2012-41607 2012-44065 2012-42703 2012-42648 2012-44213 2012-42587 2012-44144 2012-43876 2012-43596 2012-30320 2012-26476
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