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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第142位 322件
(2013年:第118位 415件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第261位 154件
(2013年:第163位 256件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2014-67906 | 基板処理装置 | 2014年 4月17日 | |
特開 2014-67905 | 基板処理装置 | 2014年 4月17日 | |
特開 2014-67904 | 熱処理方法および熱処理装置 | 2014年 4月17日 | |
特開 2014-67875 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2014年 4月17日 | |
特開 2014-67874 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2014年 4月17日 | |
特開 2014-67839 | 基板処理装置 | 2014年 4月17日 | |
特開 2014-61460 | 塗工装置および塗工方法 | 2014年 4月10日 | |
特開 2014-63880 | 基板搬送装置、基板処理装置、および、基板搬送方法 | 2014年 4月10日 | |
特開 2014-63814 | 基板処理装置および表示方法 | 2014年 4月10日 | |
特開 2014-57930 | 塗布装置および塗布装置の動作方法 | 2014年 4月 3日 | |
特開 2014-59288 | 撮像装置 | 2014年 4月 3日 | |
特開 2014-60192 | パターン描画装置、パターン描画方法 | 2014年 4月 3日 | |
特開 2014-60014 | 電池用電極製造方法及び電池用電極製造装置 | 2014年 4月 3日 | |
特開 2014-56936 | 薬液供給装置、基板処理システム、および基板処理方法 | 2014年 3月27日 | |
特開 2014-56865 | 基板保持部材及びそれを備えた基板処理装置 | 2014年 3月27日 |
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2014-67906 2014-67905 2014-67904 2014-67875 2014-67874 2014-67839 2014-61460 2014-63880 2014-63814 2014-57930 2014-59288 2014-60192 2014-60014 2014-56936 2014-56865
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