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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第118位 415件 (2012年:第180位 254件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第163位 256件 (2012年:第181位 217件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2013-111907 | パターン形成装置およびパターン形成方法 | 2013年 6月10日 | |
特開 2013-113767 | 厚み計測装置および厚み計測方法 | 2013年 6月10日 | |
特開 2013-114152 | 撮像装置およびアライメント装置 | 2013年 6月10日 | |
特開 2013-113766 | アライメント方法およびパターン形成方法 | 2013年 6月10日 | |
特開 2013-114153 | 撮像装置、アライメント装置およびパターン形成装置 | 2013年 6月10日 | |
特開 2013-99808 | 組み付け装置、およびその方法、組み付け動作プログラム | 2013年 5月23日 | |
特開 2013-102238 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 5月23日 | |
特開 2013-89609 | 基板処理装置 | 2013年 5月13日 | |
特開 2013-84902 | 熱処理方法および熱処理装置 | 2013年 5月 9日 | |
特開 2013-84901 | 熱処理方法 | 2013年 5月 9日 | |
特開 2013-84884 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 5月 9日 | |
特開 2013-80574 | 電源装置およびその電源装置を備えたシステム手帳、物品カバー | 2013年 5月 2日 | |
特開 2013-77626 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 4月25日 | |
特開 2013-77625 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 4月25日 | |
特開 2013-77624 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 4月25日 |
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2013-111907 2013-113767 2013-114152 2013-113766 2013-114153 2013-99808 2013-102238 2013-89609 2013-84902 2013-84901 2013-84884 2013-80574 2013-77626 2013-77625 2013-77624
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