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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第118位 415件 (2012年:第180位 254件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第163位 256件 (2012年:第181位 217件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2013-51265 | 昇降ユニットおよび基板処理装置 | 2013年 3月14日 | |
特開 2013-48995 | 塗布装置、塗布膜形成システム、塗布方法および塗布膜形成方法 | 2013年 3月14日 | |
特開 2013-51301 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 3月14日 | |
特開 2013-51286 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 3月14日 | |
特開 2013-49467 | 輸送用コンテナ、輸送用車両および電力輸送方法 | 2013年 3月14日 | |
特開 2013-51275 | 基板処理装置 | 2013年 3月14日 | |
特開 2013-51264 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2013年 3月14日 | |
特開 2013-50187 | ベローズ及びそれを用いた基板処理装置 | 2013年 3月14日 | |
特開 2013-50513 | 空間光変調器、空間光変調器の駆動方法および露光装置 | 2013年 3月14日 | |
特開 2013-51337 | 基板処理装置及び処理液の流路切り替え方法 | 2013年 3月14日 | |
特開 2013-50837 | 分類処理生成装置および分類処理生成方法 | 2013年 3月14日 | |
特開 2013-51267 | 槽キャリア及び基板処理装置 | 2013年 3月14日 | |
特開 2013-46886 | パターン形成装置 | 2013年 3月 7日 | |
特開 2013-46937 | 対象物把持装置および対象物把持方法および対象物把持プログラム | 2013年 3月 7日 | |
特開 2013-48179 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 3月 7日 |
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2013-51265 2013-48995 2013-51301 2013-51286 2013-49467 2013-51275 2013-51264 2013-50187 2013-50513 2013-51337 2013-50837 2013-51267 2013-46886 2013-46937 2013-48179
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