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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第118位 415件
(2012年:第180位 254件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第163位 256件
(2012年:第181位 217件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-30612 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 2月 7日 | |
特開 2013-30690 | 基板処理装置、フィルタ洗浄方法、およびフィルタ洗浄装置 | 2013年 2月 7日 | |
特開 2013-30677 | 基板処理装置、基板保持装置、および、基板保持方法 | 2013年 2月 7日 | |
特開 2013-30614 | 膜形成方法および膜形成装置 | 2013年 2月 7日 | |
特開 2013-30613 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 2月 7日 | |
特開 2013-24592 | 画像検査装置および画像記録装置、並びに、画像検査方法 | 2013年 2月 4日 | |
特開 2013-24843 | 基板検査装置および基板検査方法 | 2013年 2月 4日 | |
特開 2013-26383 | 位置合わせ装置、位置合わせ方法、および、描画装置 | 2013年 2月 4日 | |
特開 2013-26381 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 2月 4日 | |
特開 2013-26379 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 2月 4日 | |
特開 2013-26369 | 洗浄処理装置および洗浄処理方法 | 2013年 2月 4日 | |
特開 2013-21178 | 基板処理装置 | 2013年 1月31日 | |
特開 2013-21066 | リン酸再生方法、リン酸再生装置および基板処理システム | 2013年 1月31日 | |
特開 2013-21263 | 膜剥離装置および膜剥離方法 | 2013年 1月31日 | |
特開 2013-21246 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 1月31日 |
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2013-30612 2013-30690 2013-30677 2013-30614 2013-30613 2013-24592 2013-24843 2013-26383 2013-26381 2013-26379 2013-26369 2013-21178 2013-21066 2013-21263 2013-21246
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