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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第189位 230件 (2010年:第172位 293件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第194位 188件 (2010年:第158位 203件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2011-210767 | 基板処理装置および移載方法 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-207023 | 印刷装置 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-210933 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-210976 | 基板処理装置の供給異常検知方法及びそれを用いた基板処理装置 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-211095 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-211093 | 基板処理装置のためのティーチング方法 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-210965 | 熱処理方法および熱処理装置 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-210929 | 基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-209375 | パターン描画装置およびパターン描画方法 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-210971 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-208786 | バルブおよびこれを備えた基板処理装置 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-210315 | 基板処理装置 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-211246 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-210764 | 基板洗浄処理装置 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-209105 | 画像検査装置および印刷装置、並びに、画像検査方法 | 2011年10月20日 |
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2011-210767 2011-207023 2011-210933 2011-210976 2011-211095 2011-211093 2011-210965 2011-210929 2011-209375 2011-210971 2011-208786 2011-210315 2011-211246 2011-210764 2011-209105
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