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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第142位 322件 (2013年:第118位 415件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第261位 154件 (2013年:第163位 256件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2014-167443 | 検査装置および検査方法 | 2014年 9月11日 | 共同出願 |
特開 2014-164109 | パターン形成装置およびパターン形成方法 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-161950 | ロボットシステム、ロボット制御方法、ロボット較正方法 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-164982 | 電池用電極、電池、電池用電極の製造方法および電池用電極の製造装置 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-163229 | 回転駆動機構、流体吐出装置ならびにパターン形成装置 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-165476 | 製造装置およびパラメータ変更方法 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-165331 | アライメント装置およびアライメント方法 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-165349 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2014年 9月 8日 | |
特開 2014-160860 | 熱処理装置 | 2014年 9月 4日 | |
特開 2014-160696 | 位置検出装置、露光装置、および、光量調整方法 | 2014年 9月 4日 | |
特開 2014-160861 | 熱処理装置 | 2014年 9月 4日 | |
特開 2014-157086 | パターン検査装置 | 2014年 8月28日 | |
特開 2014-157085 | パターン検査装置 | 2014年 8月28日 | |
特開 2014-157936 | 基板処理装置 | 2014年 8月28日 | |
特開 2014-157935 | 基板処理装置 | 2014年 8月28日 |
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2014-167443 2014-164109 2014-161950 2014-164982 2014-163229 2014-165476 2014-165331 2014-165349 2014-160860 2014-160696 2014-160861 2014-157086 2014-157085 2014-157936 2014-157935
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