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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第142位 322件 (2013年:第118位 415件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第261位 154件 (2013年:第163位 256件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2014-158014 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2014年 8月28日 | |
特開 2014-157968 | 熱処理方法、熱処理装置およびサセプター | 2014年 8月28日 | |
特開 2014-157936 | 基板処理装置 | 2014年 8月28日 | |
特開 2014-157935 | 基板処理装置 | 2014年 8月28日 | |
特開 2014-157934 | 基板処理装置 | 2014年 8月28日 | |
特開 2014-157901 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2014年 8月28日 | |
特開 2014-153314 | 検査装置および検査方法 | 2014年 8月25日 | 共同出願 |
特開 2014-152964 | 乾燥装置、液状体付与乾燥装置、および乾燥方法 | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-154860 | 基板処理装置 | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-154858 | 基板処理装置 | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-154656 | 結晶シリコン型太陽電池、およびその製造方法 | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-150135 | 基板処理装置 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-148031 | 受渡位置教示方法、受渡位置教示装置および基板処理装置 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-148138 | 印刷装置 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-149235 | キャリブレーション方法 | 2014年 8月21日 |
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2014-158014 2014-157968 2014-157936 2014-157935 2014-157934 2014-157901 2014-153314 2014-152964 2014-154860 2014-154858 2014-154656 2014-150135 2014-148031 2014-148138 2014-149235
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