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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第118位 415件 (2012年:第180位 254件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第163位 256件 (2012年:第181位 217件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5297959 | 基板乾燥方法及び基板乾燥装置 | 2013年 9月25日 | |
特許 5297056 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 9月25日 | |
特許 5290025 | 基板塗布装置 | 2013年 9月18日 | |
特許 5290081 | 基板処理装置 | 2013年 9月18日 | |
特許 5295335 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム | 2013年 9月18日 | |
特許 5295751 | 酸化亜鉛膜形成方法および酸化亜鉛膜形成装置 | 2013年 9月18日 | |
特許 5292069 | 基板処理システム及びそのスケジュール作成方法 | 2013年 9月18日 | |
特許 5291965 | 熱処理装置 | 2013年 9月18日 | |
特許 5291039 | 基板保持回転装置および基板処理装置 | 2013年 9月18日 | |
特許 5291037 | 基板処理装置のためのティーチング方法 | 2013年 9月18日 | |
特許 5290890 | 基板処理装置 | 2013年 9月18日 | |
特許 5289885 | 搬送ローラ、及びこれを備えた基板搬送部材 | 2013年 9月11日 | |
特許 5285530 | 塗膜形成ムラ検査装置 | 2013年 9月11日 | |
特許 5289815 | 石英窓の製造方法 | 2013年 9月11日 | |
特許 5284918 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2013年 9月11日 |
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5297959 5297056 5290025 5290081 5295335 5295751 5292069 5291965 5291039 5291037 5290890 5289885 5285530 5289815 5284918
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