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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第142位 322件 (2013年:第118位 415件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第261位 154件 (2013年:第163位 256件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5432654 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム | 2014年 3月 5日 | |
特許 5431863 | 基板処理装置 | 2014年 3月 5日 | |
特許 5425666 | 基板処理装置 | 2014年 2月26日 | |
特許 5426244 | 塗布装置および塗布方法 | 2014年 2月26日 | |
特許 5426416 | 基板搬送装置、基板搬送方法および撮像装置 | 2014年 2月26日 | |
特許 5426141 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2014年 2月26日 | |
特許 5424597 | 基板処理装置 | 2014年 2月26日 | |
特許 5426301 | 基板処理装置 | 2014年 2月26日 | |
特許 5427455 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム | 2014年 2月26日 | |
特許 5420363 | 画像検査装置および画像検査方法、画像記録装置 | 2014年 2月19日 | |
特許 5420222 | 基板処理装置 | 2014年 2月19日 | |
特許 5420942 | パターン描画装置およびパターン描画方法 | 2014年 2月19日 | |
特許 5421610 | 基板処理装置 | 2014年 2月19日 | |
特許 5421043 | 基板処理装置及びこれを備えた基板処理システム | 2014年 2月19日 | |
特許 5420336 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 | 2014年 2月19日 |
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5432654 5431863 5425666 5426244 5426416 5426141 5424597 5426301 5427455 5420363 5420222 5420942 5421610 5421043 5420336
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