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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第142位 322件 (2013年:第118位 415件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第261位 154件 (2013年:第163位 256件)
(ランキング更新日:2024年12月27日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5417109 | パターン描画装置および光源 | 2014年 2月12日 | |
特許 5415842 | 描画システムおよびパターン形成システム | 2014年 2月12日 | |
特許 5414281 | 露光装置および露光方法 | 2014年 2月12日 | |
特許 5417186 | 基板処理装置 | 2014年 2月12日 | |
特許 5416443 | 故障予知システムおよび故障予知方法 | 2014年 2月12日 | |
特許 5405955 | 基板処理装置 | 2014年 2月 5日 | |
特許 5406475 | 熱処理装置 | 2014年 2月 5日 | |
特許 5406518 | 基板処理装置 | 2014年 2月 5日 | |
特許 5410040 | 基板処理装置 | 2014年 2月 5日 | |
特許 5399084 | 薄膜形成システムおよび薄膜形成方法 | 2014年 1月29日 | |
特許 5399963 | 基板搬送装置および基板処理装置 | 2014年 1月29日 | |
特許 5399191 | 基板処理装置、基板処理装置のための検査装置、ならびに検査用コンピュータプログラムおよびそれを記録した記録媒体 | 2014年 1月29日 | |
特許 5394869 | 液滴塗布装置および液滴塗布方法 | 2014年 1月22日 | |
特許 5395690 | パターン形成方法およびパターン形成装置 | 2014年 1月22日 | |
特許 5395646 | パターン形成方法およびパターン形成装置 | 2014年 1月22日 |
154 件中 121-135 件を表示
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5417109 5415842 5414281 5417186 5416443 5405955 5406475 5406518 5410040 5399084 5399963 5399191 5394869 5395690 5395646
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