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大日本スクリーン製造株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第142位 322件 下降2013年:第118位 415件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第261位 154件 下降2013年:第163位 256件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5417109 パターン描画装置および光源 2014年 2月12日
特許 5415842 描画システムおよびパターン形成システム 2014年 2月12日
特許 5414281 露光装置および露光方法 2014年 2月12日
特許 5417186 基板処理装置 2014年 2月12日
特許 5416443 故障予知システムおよび故障予知方法 2014年 2月12日
特許 5405955 基板処理装置 2014年 2月 5日
特許 5406475 熱処理装置 2014年 2月 5日
特許 5406518 基板処理装置 2014年 2月 5日
特許 5410040 基板処理装置 2014年 2月 5日
特許 5399084 薄膜形成システムおよび薄膜形成方法 2014年 1月29日
特許 5399963 基板搬送装置および基板処理装置 2014年 1月29日
特許 5399191 基板処理装置、基板処理装置のための検査装置、ならびに検査用コンピュータプログラムおよびそれを記録した記録媒体 2014年 1月29日
特許 5394869 液滴塗布装置および液滴塗布方法 2014年 1月22日
特許 5395690 パターン形成方法およびパターン形成装置 2014年 1月22日
特許 5395646 パターン形成方法およびパターン形成装置 2014年 1月22日

154 件中 121-135 件を表示

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5417109 5415842 5414281 5417186 5416443 5405955 5406475 5406518 5410040 5399084 5399963 5399191 5394869 5395690 5395646

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