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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第3542位 5件
(
2015年:第3076位 6件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第2385位 7件
(
2015年:第1611位 11件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6032833 | 投影露光方法、および投影露光装置 | 2016年11月30日 | |
| 特許 6026724 | 露光装置の投影光学系 | 2016年11月16日 | |
| 特許 6008686 | 消泡剤及びその製造方法 | 2016年10月19日 | |
| 特許 5952469 | ガラス用洗浄・防汚剤 | 2016年 7月13日 | |
| 特許 5946363 | 水系におけるシリカ系スケールの防止方法及びスケール防止剤、並びにシリカ系スケールを抑制するとともに金属の腐食を抑制する水処理方法及び水処理剤 | 2016年 7月 6日 | |
| 特許 5938707 | 光学素子保持装置への光学素子の接着方法及びこの方法に用いる光学素子保持装置及びこの光学素子を備えた露光装置 | 2016年 6月22日 | |
| 特許 5901831 | スケール防止剤の製造方法及びスケール防止方法 | 2016年 4月13日 |
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6032833 6026724 6008686 5952469 5946363 5938707 5901831
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