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■ 2025年 出願公開件数ランキング 第5348位 2件
(2024年:第2216位 9件)
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第1157位 11件
(2024年:第6346位 2件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7720855 | ポンプモジュール | 2025年 8月 8日 | |
特許 7713001 | クライオポンプ | 2025年 7月24日 | |
特許 7712349 | クライオポンプ | 2025年 7月23日 | |
特許 7699139 | 圧力調整型半導体ウェハ冷却装置及び方法、並びに圧力調整装置 | 2025年 6月26日 | |
特許 7689943 | 診断回路を有する真空システム及びそのような真空システムの健全性をモニタする方法及びコンピュータプログラム | 2025年 6月 9日 | |
特許 7677984 | 半導体ウェハの温度制御装置 | 2025年 5月15日 | |
特許 7673086 | 真空モジュール、真空装置、及びボリュームゲッター真空ポンプの再生方法 | 2025年 5月 8日 | |
特許 7644818 | クライオポンプ性能監視 | 2025年 3月12日 | |
特許 7631374 | 真空装置の温度センサ組立体 | 2025年 2月18日 | |
特許 7617042 | 複数真空チャンバの排気システム及び複数真空チャンバの排気方法 | 2025年 1月17日 | |
特許 7615320 | クライオポンプ及びクライオポンプのための入口流量制限器 | 2025年 1月16日 |
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7720855 7713001 7712349 7699139 7689943 7677984 7673086 7644818 7631374 7617042 7615320
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