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エヴァテック・アーゲー

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  2021年 出願公開件数ランキング    第3208位 6件 下降2020年:第2749位 7件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第5804位 2件 上昇2020年:第8780位 1件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2021-535589 低粒子プラズマエッチング用の方法および装置 2021年12月16日
特表 2021-524542 基板を処理する方法および真空堆積装置 2021年 9月13日
特表 2021-523554 基板真空処理装置及び方法 2021年 9月 2日
特表 2021-513613 マグネトロンスパッタリングのための方法および装置 2021年 5月27日
特表 2021-504958 基板処理装置、基板を処理する方法及び処理加工物を製造する方法 2021年 2月15日
特表 2021-503689 真空プラズマ処理へのRFパワーの伝送 2021年 2月12日

6 件中 1-6 件を表示

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2021-535589 2021-524542 2021-523554 2021-513613 2021-504958 2021-503689

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