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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6616155 | 熱処理炉 | 2019年12月 4日 | |
特許 6607814 | 熱処理装置 | 2019年11月20日 | |
特許 6581385 | 熱処理装置 | 2019年 9月25日 | |
特許 6576209 | 窒化処理装置、および、窒化処理方法 | 2019年 9月18日 | |
特許 6576652 | 熱処理装置 | 2019年 9月18日 | |
特許 6571433 | 熱処理装置 | 2019年 9月 4日 | |
特許 6567901 | ウエハ搬送用ブレード | 2019年 8月28日 | |
特許 6560406 | 温度検出装置、および、熱処理装置 | 2019年 8月14日 | |
特許 6533854 | 物品監視装置、搬送装置、熱処理装置、および、物品監視方法 | 2019年 6月19日 | |
特許 6510925 | 熱処理装置 | 2019年 5月 8日 | |
特許 6503423 | 誘導加熱コイル | 2019年 4月17日 | |
特許 6503424 | 誘導加熱コイル | 2019年 4月17日 | |
特許 6503425 | 誘導加熱コイル | 2019年 4月17日 | |
特許 6496474 | ウェハ搬送用装置 | 2019年 4月 3日 | |
特許 6486423 | マイクロ波監視装置、マイクロ波加熱装置、および、マイクロ波監視方法 | 2019年 3月20日 |
18 件中 1-15 件を表示
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6616155 6607814 6581385 6576209 6576652 6571433 6567901 6560406 6533854 6510925 6503423 6503424 6503425 6496474 6486423
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11月27日(水) -
11月27日(水) -
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11月28日(木) -
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12月1日(日) -
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