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エルジー　シルトロン　インコーポレイテッド

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エルジー　シルトロン　インコーポレイテッドの商標一覧
公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6777739 単結晶インゴット成長装置 2020年10月28日
特許 6725708 単結晶インゴット成長用温度制御装置およびこれに適用される温度制御方法 2020年 7月22日
特許 6722781 単結晶インゴット成長用引き上げ制御装置およびこれに適用された引き上げ制御方法 2020年 7月15日
特許 6681439 ウェーハ洗浄装備の温度制御装置およびこれを用いた温度制御方法 2020年 4月15日
特許 6651529 インゴット界面の形状を制御することができる単結晶成長システム及び方法 2020年 2月19日
特許 6633868 ウェハー研磨装置およびその研磨方法 2020年 1月22日

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6777739 6725708 6722781 6681439 6651529 6633868

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