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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第14391位 1件
(
2021年:第12881位 1件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第3150位 5件
(
2021年:第9350位 1件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7177069 | 基板をプロセスチャンバ内で回転及び並進するためのシステム及び方法 | 2022年11月22日 | |
| 特許 7130643 | プロセスチャンバ内のマイクロ電子基板を処理するための回転及び並進チャック | 2022年 9月 5日 | |
| 特許 7110195 | 半導体デバイスを製造するためのウェハエッジ・リフトピンの設計 | 2022年 8月 1日 | |
| 特許 7023332 | 極低温流体混合物で基板を処理するシステムおよび方法 | 2022年 2月21日 | |
| 特許 7023333 | 極低温流体混合物で基板を処理するシステムおよび方法 | 2022年 2月21日 |
5 件中 1-5 件を表示
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7177069 7130643 7110195 7023332 7023333
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