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株式会社日立国際電気

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  2017年 特許取得件数ランキング    第144位 228件 上昇2016年:第152位 231件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6153975 半導体装置の製造方法、基板処理システム、プログラム、記録媒体および基板処理装置 2017年 6月28日
特許 6154215 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム 2017年 6月28日
特許 6155063 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム 2017年 6月28日
特許 6150937 基板処理装置、温度制御方法及び半導体装置の製造方法並びに記録媒体 2017年 6月21日
特許 6151335 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム 2017年 6月21日
特許 6151745 基板処理装置、基板処理システム、半導体装置の製造方法、プログラム及び記録媒体 2017年 6月21日
特許 6151789 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム 2017年 6月21日
特許 6151905 受信装置 2017年 6月21日
特許 6151943 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 2017年 6月21日
特許 6151965 無線通信システム 2017年 6月21日
特許 6152487 無線通信装置および電源装置 2017年 6月21日
特許 6146874 半導体デバイスの製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム 2017年 6月14日
特許 6146886 基板処理装置および半導体装置の製造方法 2017年 6月14日
特許 6147480 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム 2017年 6月14日
特許 6147693 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム 2017年 6月14日

229 件中 106-120 件を表示

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6153975 6154215 6155063 6150937 6151335 6151745 6151789 6151905 6151943 6151965 6152487 6146874 6146886 6147480 6147693

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