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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第166位 320件
(2016年:第243位 168件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第144位 228件
(2016年:第152位 231件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6153975 | 半導体装置の製造方法、基板処理システム、プログラム、記録媒体および基板処理装置 | 2017年 6月28日 | |
特許 6154215 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2017年 6月28日 | |
特許 6155063 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | 2017年 6月28日 | |
特許 6150937 | 基板処理装置、温度制御方法及び半導体装置の製造方法並びに記録媒体 | 2017年 6月21日 | |
特許 6151335 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2017年 6月21日 | |
特許 6151745 | 基板処理装置、基板処理システム、半導体装置の製造方法、プログラム及び記録媒体 | 2017年 6月21日 | |
特許 6151789 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | 2017年 6月21日 | |
特許 6151905 | 受信装置 | 2017年 6月21日 | |
特許 6151943 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2017年 6月21日 | |
特許 6151965 | 無線通信システム | 2017年 6月21日 | |
特許 6152487 | 無線通信装置および電源装置 | 2017年 6月21日 | |
特許 6146874 | 半導体デバイスの製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム | 2017年 6月14日 | |
特許 6146886 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | 2017年 6月14日 | |
特許 6147480 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2017年 6月14日 | |
特許 6147693 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2017年 6月14日 |
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6153975 6154215 6155063 6150937 6151335 6151745 6151789 6151905 6151943 6151965 6152487 6146874 6146886 6147480 6147693
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