株式会社昭和真空
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（
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■ 2021年 特許取得件数ランキング 第3400位 4件
（
2020年：第2756位 5件）
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株式会社昭和真空の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2021-169931 | プローブユニット | 2021年10月28日 | |
| 特開 2021-143360 | 蒸着源ユニット、蒸着源、及び蒸着源用ノズル | 2021年 9月24日 | |
| 特開 2021-135239 | リーク検査方法及びリーク検査装置 | 2021年 9月13日 | |
| 特開 2021-130842 | プラズマ処理装置、バイアス印加機構、および基板パレット | 2021年 9月 9日 | |
| 特開 2021-73693 | 電子部品の製造方法および装置 | 2021年 5月13日 |
5 件中 1-5 件を表示
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2021-169931 2021-143360 2021-135239 2021-130842 2021-73693
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