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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第3099位 6件
(2015年:第3076位 6件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第2650位 6件
(2015年:第2434位 6件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2016-175065 | スリットノズル | 2016年10月 6日 | |
特開 2016-178317 | 円盤状の物品を処理するための装置 | 2016年10月 6日 | |
特開 2016-167614 | ウエハ形状物品の液体処理のための装置およびプロセス | 2016年 9月15日 | |
特開 2016-164973 | 回転式ガスシャワーヘッドを備えたスピンチャック | 2016年 9月 8日 | |
特開 2016-46531 | ウエハ状物品を処理するための方法及び装置 | 2016年 4月 4日 | |
特開 2016-2547 | ウエハ状物品の液体処理のための方法及び装置 | 2016年 1月12日 |
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2016-175065 2016-178317 2016-167614 2016-164973 2016-46531 2016-2547
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