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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第3099位 6件 (2015年:第3076位 6件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第2650位 6件 (2015年:第2434位 6件)
(ランキング更新日:2025年1月30日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6021803 | ウエハ形状物品を保持するための装置 | 2016年11月 9日 | |
特許 5974009 | 改良超音波洗浄方法および装置 | 2016年 8月23日 | |
特許 5933448 | 高温チャック及びそれを使用する方法 | 2016年 6月 8日 | |
特許 5925695 | ウエハ形状物品の液体処理のための装置およびプロセス | 2016年 5月25日 | |
特許 5925841 | 円盤状の物品を処理するための装置 | 2016年 5月25日 | |
特許 5916619 | ピンチャックで用いられる強化ピン、およびその強化ピンを用いるピンチャック | 2016年 5月11日 |
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6021803 5974009 5933448 5925695 5925841 5916619
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