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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6948828 | ヨードニウム塩化合物、それを含有する光酸発生剤及び組成物、並びに、デバイスの製造方法 | 2021年10月13日 | |
特許 6938480 | 塩基発生剤、試剤、有機塩、組成物、素子の製造方法、硬化膜及び素子 | 2021年 9月22日 | |
特許 6921801 | 担持型金属触媒 | 2021年 8月18日 | |
特許 6913031 | ポリマー、感放射線性組成物、化合物及びデバイスの製造方法 | 2021年 8月 4日 | |
特許 6887394 | スルホニウム塩、光酸発生剤、それを含む組成物、及び、デバイスの製造方法 | 2021年 6月16日 | |
特許 6867303 | 化合物及び有機材料の製造方法 | 2021年 4月28日 | |
特許 6847121 | 組成物及びそれを用いたデバイスの製造方法 | 2021年 3月24日 | |
特許 6827037 | レジスト組成物及びそれを用いたデバイスの製造方法 | 2021年 2月10日 | |
特許 6820233 | ポリマー、該ポリマーを含有するレジスト組成物及びそれを用いたデバイスの製造方法 | 2021年 1月27日 |
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6948828 6938480 6921801 6913031 6887394 6867303 6847121 6827037 6820233
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11月26日(火) -
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12月4日(水) -
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12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
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12月2日(月) - 滋賀 草津市
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