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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6616308 | 高分子担持遷移触媒 | 2019年12月 4日 | |
特許 6537118 | 化学増幅フォトレジスト組成物及び装置の製造方法 | 2019年 7月 3日 | |
特許 6534347 | 組成物、樹脂モールド、光インプリント方法、光学素子の製造方法、及び電子素子の製造方法 | 2019年 6月26日 | |
特許 6530957 | レジスト組成物、スルホン酸誘導体、該スルホン酸誘導体の製造方法及びデバイスの製造方法 | 2019年 6月12日 | |
特許 6525269 | 化学増幅型レジスト組成物および装置の製造方法 | 2019年 6月 5日 | |
特許 6504653 | 組成物及び部品の製造方法 | 2019年 4月24日 | |
特許 6501252 | アンモニウムカチオン含有有機塩 | 2019年 4月17日 | |
特許 6485875 | 化学増幅レジスト組成物および化学増幅レジスト組成物を用いてデバイスを製造する方法 | 2019年 3月20日 | |
特許 6472097 | スルホン酸誘導体、それを用いた光酸発生剤、レジスト組成物及びデバイスの製造方法 | 2019年 2月20日 |
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6616308 6537118 6534347 6530957 6525269 6504653 6501252 6485875 6472097
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