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サムス　カンパニー　リミテッド

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サムス　カンパニー　リミテッドの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2024-96004	支持ユニットの制御方法、基板処理方法及び基板処理装置	2024年 7月11日
特開 2024-95934	基板処理装置及び基板処理方法	2024年 7月11日
特開 2024-87741	有機溶媒供給装置、基板処理方法及び基板処理装置	2024年 7月 1日
特開 2024-78373	ＯＨＴ管理システム及びＯＨＴ管理システム制御方法	2024年 6月10日
特開 2024-76315	冷却プレート及びこれを含むプラズマ処理チャンバ	2024年 6月 5日
特開 2024-68636	移送台車の線路測定装置及び方法	2024年 5月20日
特開 2024-66385	工程流体処理器、これを含むウェーハ洗浄装置及び半導体製造設備	2024年 5月15日
特開 2024-64948	基板処理装置用無線電力装置及び基板処理装置用無線電力装置製造方法	2024年 5月14日
特開 2024-61640	基板処理装置及び基板処理装置の冷却効率の改善方法	2024年 5月 7日
特開 2024-48348	ベークユニット、ベークユニットの動作方法、及びフォトスピナー設備	2024年 4月 8日
特開 2024-46574	マイクロ波を用いた熱処理装置及びその動作方法	2024年 4月 3日
特開 2024-43452	基板加熱装置及びそれを用いた基板処理装置	2024年 3月29日
特開 2024-7350	基板処理モジュール及びレーザ提供方法	2024年 1月18日
特開 2024-7309	電力供給装置及びそれを含む半導体製造設備、搬送システム	2024年 1月18日
特開 2024-6912	製造工場で物品を移送する搬送台車、及びそれを含む物品搬送システム	2024年 1月17日

17 件中 1-15 件を表示

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2024-96004 2024-95934 2024-87741 2024-78373 2024-76315 2024-68636 2024-66385 2024-64948 2024-61640 2024-48348 2024-46574 2024-43452 2024-7350 2024-7309 2024-6912

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