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日本エー・エス・エム株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第7099位 2件 上昇2010年:第7810位 2件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第2389位 8件 下降2010年:第2005位 9件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-54968 PECVDによってSi−N結合を有するコンフォーマルな誘電体膜を形成する方法 2011年 3月17日
特開 2011-23718 PEALDによってSi−N結合を有するストレス調節された誘電体膜を形成する方法 2011年 2月 3日

2 件中 1-2 件を表示

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2011-54968 2011-23718

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