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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第2865位 7件
(
2022年:第3931位 5件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第1999位 9件
(
2022年:第2054位 9件)
(ランキング更新日:2025年11月12日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7386362 | 半導体反応チャンバ及び原子層プラズマエッチング装置 | 2023年11月24日 | |
| 特許 7382507 | 制御回路、パルス電源システム及び半導体処理装置 | 2023年11月16日 | |
| 特許 7382514 | 半導体製造装置及び半導体製造装置のガス分配器 | 2023年11月16日 | |
| 特許 7372482 | パターンシート、半導体中間製品及びホールエッチング方法 | 2023年10月31日 | |
| 特許 7352732 | エッチング方法、空隙誘電体層、及びダイナミックランダムアクセスメモリ | 2023年 9月28日 | |
| 特許 7340114 | 搬送デバイス、半導体装置、及び残留電荷検出方法 | 2023年 9月 6日 | |
| 特許 7320669 | エピタキシャルデバイス及びエピタキシャルデバイス用のガス吸気構造 | 2023年 8月 3日 | |
| 特許 7223123 | ドアオープナ、輸送チャンバ、及び半導体処理デバイス | 2023年 2月15日 | |
| 特許 7218456 | バイアス磁界制御方法、磁性薄膜堆積方法、チャンバ及び装置 | 2023年 2月 6日 |
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7386362 7382507 7382514 7372482 7352732 7340114 7320669 7223123 7218456
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