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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第3931位 5件
(2021年:第2561位 8件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第2054位 9件
(2021年:第25492位 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7159487 | マスク構造及びFCVA装置 | 2022年10月24日 | |
特許 7153812 | プロセスチャンバ及び半導体処理デバイス | 2022年10月14日 | |
特許 7139454 | シャッターディスクアセンブリ、半導体処理デバイス、及び半導体処理方法 | 2022年 9月20日 | |
特許 7119113 | 静電チャックおよびその突出部を製造するための方法 | 2022年 8月16日 | |
特許 7100717 | 無線周波数電源のパルス変調のためのシステムおよび方法ならびにその反応室 | 2022年 7月13日 | |
特許 7085655 | 無線周波数パルス整合方法およびそのデバイス、ならびに、パルスプラズマ生成システム | 2022年 6月16日 | |
特許 7066868 | 反応室コンポーネント、作製方法、及び反応室 | 2022年 5月13日 | |
特許 7057445 | キャパシタ、キャパシタの製造方法、及び半導体装置 | 2022年 4月19日 | |
特許 7000598 | 無線周波数インピーダンス整合のための方法およびデバイス、および半導体処理装置 | 2022年 1月19日 |
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7159487 7153812 7139454 7119113 7100717 7085655 7066868 7057445 7000598
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4月23日(水) - 東京 千代田区
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4月24日(木) - 東京 港区
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