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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第5661位 3件
(2012年:第11791位 1件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第4717位 3件
(2012年:第9669位 1件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-258153 | 高周波アンテナユニット及びプラズマ処理装置 | 2013年12月26日 | |
再表 2012-32596 | プラズマ処理装置 | 2013年12月12日 | |
再表 2011-111712 | スパッタ装置 | 2013年 6月27日 |
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2013-258153 2012-32596 2011-111712
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