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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第5661位 3件 (2012年:第11791位 1件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第4717位 3件 (2012年:第9669位 1件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5329796 | プラズマ処理装置 | 2013年10月30日 | |
特許 5302937 | 不純物活性化方法、半導体装置の製造方法 | 2013年10月 2日 | |
特許 5138342 | プラズマ処理装置 | 2013年 2月 6日 |
3 件中 1-3 件を表示
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5329796 5302937 5138342
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