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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5684872 | プラズマ発生装置、プラズマ発生装置を制御する方法、及びプラズマ発生装置を使用する基板処理装置 | 2015年 3月18日 |
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