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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7553217 | 半導体処理装置 | 2024年 9月18日 | |
特許 7553218 | 半導体処理装置 | 2024年 9月18日 | |
特許 7522899 | 半導体処理装置 | 2024年 7月25日 | |
特許 7522900 | 半導体処理装置 | 2024年 7月25日 | |
特許 7522903 | 半導体処理装置 | 2024年 7月25日 | |
特許 7522948 | 半導体処理装置 | 2024年 7月25日 | |
特許 7458136 | 半導体処理装置に用いる加熱源の製造方法 | 2024年 3月29日 | |
特許 7458137 | 半導体処理装置に用いる加熱源保持機構、加熱源保持方法及び半導体処理装置 | 2024年 3月29日 | |
特許 7433505 | 半導体処理装置に用いる加熱源保持機構、加熱源保持方法及び半導体処理装置 | 2024年 2月19日 | |
特許 7416554 | 半導体処理装置に用いる加熱源保持機構、加熱源保持方法及び半導体処理装置 | 2024年 1月17日 |
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7553217 7553218 7522899 7522900 7522903 7522948 7458136 7458137 7433505 7416554
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