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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第5242位 3件
(2015年:第2480位 8件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第4304位 3件
(2015年:第2211位 7件)
(ランキング更新日:2025年6月30日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2016-189454 | ヒーターブロック及び基板処理装置 | 2016年11月 4日 | |
特開 2016-189456 | 半導体素子の製造装置及びこれを用いた半導体素子の製造方法 | 2016年11月 4日 | |
特開 2016-18996 | 支持チャック及び基板処理装置 | 2016年 2月 1日 |
3 件中 1-3 件を表示
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2016-189454 2016-189456 2016-18996
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