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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第1220位 20件
(2022年:第14391位 1件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第1130位 19件
(2022年:第27906位 0件)
(ランキング更新日:2025年3月28日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7405699 | 半導体被加工物処理システム | 2023年12月26日 | |
特許 7382924 | 独立型の付属フィードスルーを備えた基板搬送装置 | 2023年11月17日 | |
特許 7346497 | 基板搬送装置 | 2023年 9月19日 | |
特許 7330275 | ロードポートモジュール | 2023年 8月21日 | |
特許 7328183 | 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置 | 2023年 8月16日 | |
特許 7301129 | リニア軸受を備えた搬送装置およびそのための方法 | 2023年 6月30日 | |
特許 7298816 | 密閉環境のための位置フィードバック | 2023年 6月27日 | |
特許 7297363 | 基板処理ツール | 2023年 6月26日 | |
特許 7294940 | 基板処理ツール | 2023年 6月20日 | |
特許 7295121 | 自動ウェハセンタリング方法および装置 | 2023年 6月20日 | |
特許 7292189 | 密封スイッチトリラクタンスモータ | 2023年 6月16日 | |
特許 7292249 | 基板処理装置 | 2023年 6月16日 | |
特許 7290622 | 搬送装置およびアダプタペンダント | 2023年 6月13日 | |
特許 7280309 | 搬送装置および処理装置 | 2023年 5月23日 | |
特許 7263636 | 基板処理装置の基板の搬送アームのための操作の方法および基板搬送装置 | 2023年 4月25日 |
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7405699 7382924 7346497 7330275 7328183 7301129 7298816 7297363 7294940 7295121 7292189 7292249 7290622 7280309 7263636
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4月9日(水) -
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