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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7502736 | 複合粒子およびその製造方法、研磨材および研磨液 | 2024年 6月19日 | |
特許 7461444 | ウェハー膜種自動判定システム及びウェハー自動分類装置 | 2024年 4月 3日 |
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7502736 7461444
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