公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
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特開 2014-151418 | オリエンテーションフラット等切り欠き部を有する、結晶材料から成るウエハの周縁を、研磨テープを使用して研磨することにより円形ウエハを製造する方法 | Mipox株式会社 | 2014年 8月25日 |
特開 2014-104526 | 板ガラス等ワークの周縁部を研磨テープにより研磨する研磨装置及び研磨方法 | Mipox株式会社 | 2014年 6月 9日 |
特開 2014-18869 | ワークの表面を処理するための研磨粒子付き表面処理用シート | Mipox株式会社 他 | 2014年 2月 3日 |
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2014-151418 2014-104526 2014-18869
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