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出願人名に「ハイデルベルク・インストルメンツ・ミクロテヒニツク・ゲー・エム・ベー・ハー」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5136996 | プログラマブルマスクを基板上に撮像するための方法および装置 | ハイデルベルク・インストルメンツ・ミクロテヒニツク・ゲー・エム・ベー・ハー | 2013年 2月 6日 |
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