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出願人名に「ハイデルベルク・インストルメンツ・ミクロテヒニツク・ゲー・エム・ベー・ハー」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5613315 | 変位のための方法および装置 | ハイデルベルク・インストルメンツ・ミクロテヒニツク・ゲー・エム・ベー・ハー | 2014年10月22日 |
| 特許 5576385 | 放射線感応基板に撮像する方法および装置 | ハイデルベルク・インストルメンツ・ミクロテヒニツク・ゲー・エム・ベー・ハー | 2014年 8月20日 |
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5613315 5576385
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