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カール ツァイス エスエムエス ゲーエムベーハー

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  2015年 出願公開件数ランキング    第11806位 1件 上昇2014年: 0件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第3293位 4件 上昇2014年: 0件)

(ランキング更新日:2025年3月28日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5821100 フォトリソグラフィマスクによって処理されるウェーハ上の誤差を補正する方法及び装置 2015年11月24日
特許 5816297 マスク上の構造を特徴付ける方法及び方法を実施するためのデバイス 2015年11月18日
特許 5775518 可変照明設定を有するマスク検査顕微鏡 2015年 9月 9日
特許 5719019 フォトリソグラフィマスクの性能を判断する方法 2015年 5月13日

4 件中 1-4 件を表示

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5821100 5816297 5775518 5719019

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