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出願人名に「伸和コントロールズ株式会社」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5303140 | 基板処理工程排気の清浄化方法 | 伸和コントロールズ株式会社 | 2013年10月 2日 |
| 特許 5303143 | クリーンルーム排気を超高純度空気に調製する方法 | 伸和コントロールズ株式会社 他 | 2013年10月 2日 |
| 特許 5202934 | 超高純度空気の調製方法 | 伸和コントロールズ株式会社 他 | 2013年 6月 5日 |
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5303140 5303143 5202934
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