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株式会社フジキン

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7791604 流体制御装置、流体制御システムおよびバルブ制御装置 2025年12月24日
特許 7785381 ガス供給装置及び流体制御装置 2025年12月15日
特許 7784695 アクチュエータの推力増幅器 2025年12月12日
特許 7780222 バルブ 2025年12月 4日
特許 7763537 水分発生用反応炉 2025年11月 4日
特許 7763476 流量制御装置、流量制御方法、流量制御装置の制御プログラム 2025年11月 4日
特許 7752865 圧電素子の劣化検知回路を備えた駆動装置及び劣化検知方法 2025年10月14日
特許 7749124 アクチュエータ、開閉弁機構および流体制御装置 2025年10月 3日
特許 7747317 流量制御装置および流量制御方法 2025年10月 1日
特許 7747316 流量制御装置および流量制御方法 2025年10月 1日
特許 7741590 バルブ装置 2025年 9月18日
特許 7737741 バルブ 2025年 9月11日
特許 7732727 気化装置、基板処理システム及び気化方法 2025年 9月 2日
特許 7716778 バルブ装置および流体制御装置、流体制御方法、半導体製造装置及び半導体製造方法 2025年 8月 1日
特許 7713225 圧力式流量制御装置 2025年 7月25日

29 件中 1-15 件を表示

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7791604 7785381 7784695 7780222 7763537 7763476 7752865 7749124 7747317 7747316 7741590 7737741 7732727 7716778 7713225

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