芝浦メカトロニクス株式会社

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　■　2015年出願公開件数ランキング　　　第422位　83件（2014年：第633位　50件）

　■　2015年特許取得件数ランキング　　　第423位　61件（2014年：第479位　74件）

（ランキング更新日：2025年4月15日）筆頭出願人である出願のみカウントしています

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5690542	塗布装置	2015年 3月25日
特許 5684955	載置台及びプラズマ処理装置	2015年 3月18日
特許 5687749	油拡散ポンプの制御装置、真空処理装置及び油拡散ポンプの制御方法	2015年 3月18日
特許 5674162	アッシング方法	2015年 2月25日
特許 5675213	電子部品の実装装置	2015年 2月25日
特許 5676675	プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置	2015年 2月25日
特許 5667827	基板の処理装置及び搬送装置	2015年 2月12日
特許 5665746	プラズマエッチング装置及びプラズマエッチング方法	2015年 2月 4日
特許 5658887	レーザ加工装置	2015年 1月28日
特許 5656245	洗浄方法及び洗浄装置	2015年 1月21日
特許 5657979	貼合装置及び貼合方法	2015年 1月21日
特許 5657998	液滴塗布装置及び液滴塗布方法	2015年 1月21日
特許 5654309	エンドポイントモニタ及びプラズマ処理方法	2015年 1月14日
特許 5650896	基板処理装置および基板処理方法	2015年 1月 7日
特許 5650897	基板処理装置	2015年 1月 7日

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5690542 5684955 5687749 5674162 5675213 5676675 5667827 5665746 5658887 5656245 5657979 5657998 5654309 5650896 5650897

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