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芝浦メカトロニクス株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第561位 54件 下降2017年:第460位 87件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第466位 55件 上昇2017年:第664位 36件)

(ランキング更新日:2025年1月31日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6442742 吸引搬送装置及び印刷装置 2018年12月26日
特許 6436829 成膜装置 2018年12月12日
特許 6426388 レジスト剥離液浄化装置及び基板処理装置 2018年11月21日
特許 6426797 吸着ステージ、貼合装置、および貼合方法 2018年11月21日
特許 6426924 基板処理装置及び基板処理方法 2018年11月21日
特許 6426927 基板処理装置及び基板処理方法 2018年11月21日
特許 6427628 プラズマ処理装置、およびプラズマ処理方法 2018年11月21日
特許 6417103 表面処理装置および表面処理方法 2018年10月31日
特許 6417164 積層体製造装置、積層体、分離装置及び積層体製造方法 2018年10月31日
特許 6410535 液受け装置及び塗布装置 2018年10月24日
特許 6411975 成膜装置及び成膜基板製造方法 2018年10月24日
特許 6408269 半導体チップの実装装置 2018年10月17日
特許 6400397 塗布液供給装置、塗布装置及び塗布液供給方法 2018年10月 3日
特許 6400919 基板処理装置及び基板処理方法 2018年10月 3日
特許 6400977 スピン処理装置 2018年10月 3日

56 件中 1-15 件を表示

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6442742 6436829 6426388 6426797 6426924 6426927 6427628 6417103 6417164 6410535 6411975 6408269 6400397 6400919 6400977

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