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芝浦メカトロニクス株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第618位 53件 下降2015年:第422位 83件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第576位 45件 下降2015年:第423位 61件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6054219 超音波接合装置 2016年12月27日
特許 6043536 粘着テープの貼着装置及び貼着方法 2016年12月14日
特許 6045041 基板処理方法及び基板処理装置 2016年12月14日
特許 6037649 微細気泡発生装置、微細気泡発生方法、基板処理装置、および基板処理方法 2016年12月 7日
特許 6038573 ガラス基板加工装置及びガラス基板加工方法 2016年12月 7日
特許 6032696 貼り合せ板状体検査装置及び方法 2016年11月30日
特許 6033372 浮遊物回収装置 2016年11月30日
特許 6026463 貼合ワークの製造装置及び貼合ワークの製造方法 2016年11月16日
特許 6012995 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2016年10月25日
特許 6012998 プラズマ処理方法 2016年10月25日
特許 6013720 反射型マスクの製造方法、および反射型マスクの製造装置 2016年10月25日
特許 6008917 基板検出装置および基板処理装置 2016年10月19日
特許 6009268 洗浄液生成装置、洗浄液生成方法、基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2016年10月19日
特許 6004517 基板検査装置、基板検査方法及び該基板検査装置の調整方法 2016年10月12日
特許 6002365 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2016年10月 5日

47 件中 1-15 件を表示

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6054219 6043536 6045041 6037649 6038573 6032696 6033372 6026463 6012995 6012998 6013720 6008917 6009268 6004517 6002365

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