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芝浦メカトロニクス株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第561位 54件 下降2017年:第460位 87件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第466位 55件 上昇2017年:第664位 36件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6386113 スピン処理装置 2018年 9月 5日
特許 6370578 基板洗浄装置 2018年 8月 8日
特許 6366307 洗浄システム、および洗浄方法 2018年 8月 1日
特許 6363458 塗布装置及び塗布装置における気泡抜き方法 2018年 7月25日
特許 6351993 基板処理装置及び基板処理方法 2018年 7月 4日
特許 6352511 基板処理装置 2018年 7月 4日
特許 6348346 選択ボタンと自動販売機 2018年 6月27日
特許 6348500 吸着ステージ、貼合装置、および貼合基板の製造方法 2018年 6月27日
特許 6345838 基板把持装置及び基板処理装置 2018年 6月20日
特許 6336801 基板乾燥装置 2018年 6月 6日
特許 6339333 ドライエッチング装置およびエッチング量測定方法 2018年 6月 6日
特許 6329110 プラズマ処理装置 2018年 5月23日
特許 6320849 基板搬送装置および基板処理装置 2018年 5月 9日
特許 6321234 基板の処理装置及び処理方法 2018年 5月 9日
特許 6321912 基板の洗浄処理装置及び洗浄処理方法 2018年 5月 9日

56 件中 16-30 件を表示

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6386113 6370578 6366307 6363458 6351993 6352511 6348346 6348500 6345838 6336801 6339333 6329110 6320849 6321234 6321912

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