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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5827794 | 走査干渉分光を用いた複雑な表面構造のプロファイリング | 2015年12月 2日 | |
特許 5814339 | 干渉計エンコーダ・システム | 2015年11月17日 | |
特許 5778078 | 物体をモニタする干渉計システム | 2015年 9月16日 | |
特許 5714780 | ダブルパス干渉方式エンコーダシステム | 2015年 5月 7日 | |
特許 5699221 | 仮想参照面を備えた干渉計 | 2015年 4月 8日 | |
特許 5654636 | 光学的に未処理の表面特徴の特性を測定する干渉計及び方法 | 2015年 1月14日 |
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5827794 5814339 5778078 5714780 5699221 5654636
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