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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第2742位 7件
(2014年: 0件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第2434位 6件
(2014年: 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2015-530598 | 雑音を低減した位置監視システム | 2015年10月15日 | |
特表 2015-517107 | 干渉計エンコーダシステム内の非高調波周期誤差の補償 | 2015年 6月18日 | |
特開 2015-111157 | ダブルパス干渉方式エンコーダシステム | 2015年 6月18日 | |
特表 2015-505039 | 変調光を使用した非接触表面形状評価 | 2015年 2月16日 | |
特表 2015-501920 | エンコーダシステムを使用する低コヒーレンス干渉法 | 2015年 1月19日 | |
特表 2015-501921 | ダブルパス干渉方式エンコーダシステム | 2015年 1月19日 | |
特表 2015-502032 | リソグラフィツールにおいて使用される計測システムのためのファイバ伝送 | 2015年 1月19日 |
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2015-530598 2015-517107 2015-111157 2015-505039 2015-501920 2015-501921 2015-502032
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